Emerging Lithographic Technologies for Nanopatterning
Edición de la obra Emerging Lithographic Technologies for Nanopatterning
| Autor | Ampere A. Tseng, Walt Trybula |
|---|---|
| Editorial | Taylor & Francis Group |
| Fecha de publicación | 2010 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781420007442 |
| Número de Cutter | T882e |