Emerging Lithographic Technologies for Nanopatterning
Edición de la obra Emerging Lithographic Technologies for Nanopatterning
| Autor | Ampere A. Tseng, Walt Trybula |
|---|---|
| Editorial | CRC |
| Fecha de publicación | December 15, 2008 |
| Idioma | inglés |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780849374210 |
| ISBN-10 | 0849374219 |
| Número de Cutter | T882e |