Electronics and structures for MEMS
27-29 October 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia
Edición de la obra Electronics and structures for MEMS
| Autor | Olaf Reinhold, SPIE |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 428 |
| ISBN-10 | 0819434922 |
| OCLC | 43167234 |
| LCCN | 00267570 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 3891 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |