Dielectric films for advanced microelectronics
Edición de la obra Dielectric films for advanced microelectronics
| Autor | Mikhail Baklanov, Martin Green, Karen Maex |
|---|---|
| Editorial | John Wiley & Sons |
| Fecha de publicación | 2007 |
| Lugar | Chichester, England, Hoboken, NJ |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 486 |
| ISBN-13 | 9780470013601 |
| ISBN-10 | 0470013605 |
| OCLC | 71581699 |