Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Processing
Symposium Held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A (Materials)
Edición de la obra Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Processing
| Autor | Orest J. Glembocki |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | March 1998 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 505 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781558992238 |
| ISBN-10 | 1558992235 |
| Número de Cutter | G557d |