Diagnostic techniques for semiconductor materials processing
symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Edición de la obra Diagnostic techniques for semiconductor materials processing
| Autor | G. M. Crean, Orest J. Glembocki |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1994 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 505 |
| ISBN-10 | 1558992235 |
| OCLC | 30624091 |
| LCCN | 94020397 |
| Serie |