Design and process integration for microelectronic manufacturing II
26-28 February 2003, Santa Clara, California, USA
Edición de la obra Design and process integration for microelectronic manufacturing II
| Autor | [name missing] |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, WA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 418 |
| ISBN-10 | 0819448478 |
| Número de Cutter | M678d |