Defects and Diffusion in Silicon Processing
Symposium Held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A (Materials Research Society Symposia Proceedings, V. 469.)
Edición de la obra Defects and diffusion in silicon processing
| Autor | S. Coffa |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | June 1997 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 541 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781558993730 |
| ISBN-10 | 1558993738 |
| Número de Cutter | C674d |