Defects and diffusion in silicon processing
symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A.
Edición de la obra Defects and diffusion in silicon processing
| Autor | S. Coffa |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1997 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 541 |
| ISBN-10 | 1558993738 |
| OCLC | 37457922 |
| LCCN | 97036151 |
| Serie | Materials Research Society symposium proceedings, · v. 469 · Materials Research Society symposia proceedings ; |
| Número de Cutter |