Copper -- Fundamental Mechanisms for Microelectronic Applications
Edición de la obra Copper-fundamental mechanisms for microelectronic applications
| Autor | Shyam P. Murarka, Igor V. Verner, Ronald J. Gutmann |
|---|---|
| Editorial | Wiley & Sons, Incorporated, John |
| Fecha de publicación | 2008 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 337 |
| ISBN-13 | 9780470347874 |
| Número de Cutter | M972c |