Computational modeling in semiconductor processing
Edición de la obra Computational modeling in semiconductor processing
| Autor | M. Meyyappan |
|---|---|
| Editorial | Artech House, Artech House Publishers |
| Fecha de publicación | 1995 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 363 |
| ISBN-10 | 0890067074 |
| OCLC | 30518321 |
| LCCN | 94017563 |
| Serie | The Artech House materials science library |
| Número de Cutter | M616c |