Chemical Vapor Deposition for Microelectronics
Principles, Technology, and Applications (Materials Science and Process Technology)
Edición de la obra Chemical Vapor Deposition for Microelectronics
| Autor | Arthur Sherman |
|---|---|
| Editorial | Noyes Publications |
| Fecha de publicación | March 1, 1988 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 215 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780815511366 |
| ISBN-10 | 0815511361 |
| Número de Cutter | S553c |