Chemical mechanical polishing in silicon processing
Edición de la obra Chemical mechanical polishing in silicon processing
| Autor | Miller, Robert M., Robert K. Willardson |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | San Diego, CA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 307 |
| ISBN-10 | 0127521720 |
| OCLC | 42707637 |
| Serie | Semiconductors and semimetals -- v. 63 |
| Número de Cutter | M649c |