Chemical-mechanical planarization
symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A.
Edición de la obra Chemical-Mechanical Planarization
| Autor | Michael R. Oliver, Duane S. Boning, Ingrid Vos |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society, Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Warrendale, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 348 |
| ISBN-10 | 1558997040 |
| OCLC | 53191183 |
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