Chemical-Mechanical Planarization
Volume 767
Edición de la obra Chemical-Mechanical Planarization
| Autor | Duane S. Boning, Katia Devriendt, Michael R. Oliver, David J. Stein, Ingrid Vos |
|---|---|
| Editorial | University of Cambridge ESOL Examinations |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 364 |
| ISBN-13 | 9781107409415 |
| Número de Cutter |