Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes
Volume 165
Edición de la obra Characterization of plasma-enhanced CVD processes
| Autor | Gerald Lucovsky, Dale E. Ibbotson, Dennis W. Hess |
|---|---|
| Editorial | University of Cambridge ESOL Examinations |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 270 |
| ISBN-13 | 9781107410282 |
| Número de Cutter | L941c |