Beam Processing Technologies (V L S I Electronics)
Edición de la obra VLSI electronics microstructure science
| Autor | Norman G. Einspruch, S. S. Cohen |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | May 1989 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 546 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780122341212 |
| ISBN-10 | 012234121X |
| LCCN | 81002877 |
| Número de Cutter | E35b |