Atomic Layer Deposition
Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applicatons
Edición de la obra Atomic Layer Deposition
| Autor | David Cameron, Arthur Sherman |
|---|---|
| Editorial | Wiley & Sons, Incorporated, John |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781299619128 |
| Número de Cutter | C182a |