Atomic layer deposition
principles, characteristics, and nanotechnology applications
Edición de la obra Atomic layer deposition
| Autor | Tommi Kääriäinen |
|---|---|
| Editorial | Scrivener Publishing |
| Fecha de publicación | 2013 |
| Lugar | Beverly, MA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 253 |
| ISBN-13 | 9781118062777 |
| LCCN | 2013016209, 2013016681 |
| Número de Cutter | K11a |