Amorphous silicon carbide thin films
deposition, characterization, etching, and piezoresistive sensors applications
Edición de la obra Amorphous silicon carbide thin films
| Autor | Mariana Amorim Fraga |
|---|---|
| Editorial | Nova Science Publishers |
| Fecha de publicación | 2011 |
| Lugar | Hauppauge, N.Y |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781613247747 |
| LCCN | 2011017290 |
| Número de Cutter | F811a |