Advanced techniques for integrated circuit processing
Edición de la obra Advanced techniques for integrated circuit processing
| Autor | Lloyd R. Harriott |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1991 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 690 |
| ISBN-10 | 0819404616, 0819410012 |
| OCLC | 507122977 |
| LCCN | 90050808 |
| Serie | Proceedings / SPIE--the International Society for Optical Engineering ; · v. 1392, <1803 > · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |