Advanced Microlithography
An Introduction to Nanostructure Science
Edición de la obra Advanced Microlithography
| Autor | Christie Marrian, Martin Peckerar |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH |
| Fecha de publicación | November 1, 2002 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 350 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9783527296316 |
| ISBN-10 | 352729631X |
| OCLC | 228092889 |
| Número de Cutter | M359a |