Advanced metallization for future ULSI
symposium held April 8-11, 1996, San Francisco, California, U.S.A.
Edición de la obra Advanced metallization for future ULSI
| Autor | K. N. Tu |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1996 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 597 |
| ISBN-10 | 1558993304 |
| LCCN | 96027499 |
| Serie | Materials Research Society symposium proceedings ; · v. 427 · Materials Research Society symposia proceedings ; |
| Número de Cutter | T883a |