98/1 Reactive sputtering
Edición de la obra 98/1 Reactive sputtering
| Autor | William D. Westwood |
|---|---|
| Editorial | Institute of Physics Pub. |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Lugar | Bristol, Philadelphia |
| Idioma | inglés |
| ISBN-10 | 0750305282 |
| LCCN | 2008530032 |
| Número de Cutter | W538r |